IC制造中平坦化技术的性能与分析

表面平整化技术是半导体工业的关键技术,在一定程度上制约着半导体芯片集成技术的发展,针对多层立体布线的IC全局平坦化技术,介绍了代表当今平整化技术及其未来的发展方向,其中一些技术会取代传统的CMP技术而成为IC产业的主导技术之一;叙述了超大规模集成电路(ULSI)的发展对全局平整化的具体要求;对传统的CMP技术的特点进行了分析;并论述了当今主流的IC平整化技术的原理、性能以及未来的发展方向。     

超声马达工作性能影响因素的研究

系统阐述在超声马达的设计、制作过程中的机构设计、制作工艺、驱动电源等方面的关键问题。重点讨论超声振子的粘接技术,振子参数优化设计的方法,以及驱动电源的匹配和频率自动跟踪设计,最终设计出高性能的超声马达。     

超声波法测量燃速初探

针对国内首次引进的超声波实时燃速测量系统编写了测试软件,用水作为被测试对象,进行了退移速率测量,分析了超声波测量燃速的主要影响因素。结果表明,测量精度主要受材料中声速的约束,声速会受到材料应力(压强)和温度的影响。该软件可以用于厚度、材料内声速和实时燃速测量。     

光纤连接器端面研磨的技术关键

简要地介绍了连接器的生产中最关键的研磨工艺，对研磨工艺流程，研磨质量跟踪表和研磨质量指标通过实际生产过程进行研究。而且利用跟踪记录的研磨数据，并根据研磨质量的指标，找出一套最佳的研磨工艺。从而生产出高质量的连接器。     

复合材料结构健康主动监测中激励信号的优化

利用L am b波频散方程及其数值求解得到的频散曲线,对L am b波模式及激励信号中心频率范围进行预测。建立了试验测试系统,利用集成在复合材料层合板上的PZT压电陶瓷片作为驱动器和传感器,激励并接收结构中激发的L am b波信号。对具有不同函数形式、中心频率和波峰数的信号激励,结构中传播的L am b波模式进行试验研究,为激励信号的选择与优化提供依据。利用H ilbert-Huang变换及H ilbert谱提取传感器信号特征,提出了L am b波信号在结构中传播时的能量衰减率和损伤敏感度两个考察指标,并据此对激励信号进行优化。实验结果表明,优化后的激励信号在结构中能激发出单一模式的L am b波(S0模式),有效地抑制了多模式现象的出现。同时,激发出的L am b波具有最低的能量衰减和最高的损伤灵敏度,响应信号特征明显,便于损伤识别。     

纤维缠绕复合材料层间质量声-超声无损评价

叙述了用声－超声进行复合材料危害性缺陷无损评价的研究，认为，声－超声信号在试样厚度上产生纵不皮共振，使得频谱能量集中在某些频率点附近，而声波又以切波的形式由发射换能器传向接收换能器，可用声－超声谱峰的位置来无损评价纤维缠绕增强型复合材料的层间结合质量。实验结果表明这一参量对纤维增强型合材料中的分层或紧贴型分层比较灵敏。     

多层钎焊结构件超声C扫描信号特征分析

对多层钎焊件内层焊缝检测中产生的多重声束路径叠加现象进行了详细分析,并用计算机模拟超声检测中的叠加信号,总结出对等厚薄板钎焊缝阵结构内层焊缝的检测方法及C扫描时信号门放置的合理位置,并且在实际检测中验证了该方法的正确性.     

基于超声波的复合材料层间剪切强度表征分析

采用数字采样、相关分析、频谱分析等方法,结合部分复合材料层板剪切强度试验,验证材料性能与分析结果的对应性、研究分析参数的选择,为无损表征复合材料剪切强度的可行性做了有益的探索.     

航空制件超声检测中的声场特性分析

 针对航空制件超声检测中影响缺陷定量准确性的声场问题进行了深入讨论, 研究了脉冲波声场的计算方法, 设计了相应的计算软件并绘制出实用换能器声轴线上的声压分布曲线, 分析了不同材料和厚度的采样回波对频谱的影响, 比较了连续波声场和脉冲波声场的分布特性及异同点。研究结果为提高超声检测中缺陷定量的准确性和科学性提供了依据。     

槽外聚能式超声波法清除燃油总管内腔积碳

为了克服用传统方法清除燃油总管内腔积碳的不彻底性，提出了槽外聚能式超声波清洗法。首先着重介绍了应用槽外聚能式超声波清洗技术清除发动机燃油总管内腔积碳的基本原理然后介绍了燃油总管专用超声波清洗机的开发与研制，以及超声波清洗工艺的研究过程，最终确定了槽外聚能式超声波清洗法清除燃油总管内腔积碳的清洗液配方和工艺路线。并成功应用于某大修机的生产过程。